自1895 年德国物理学家伦琴（Renten W C)发现了 X 射线。1896年法国物理学家乔治(G eorgs S)发现了X 射线荧光，1948年弗利德曼(Friedm an H )和伯克斯(]3irks L S)首先研制了第一台商品性的波长色散 X 射线荧光光谱仪以来，X 射线荧光光谱分析技术发展迅速。 [1] 尤其是 2O 世纪 9O 年代以来。随着电子技术和计算机的飞速发展，x 射线荧光光谱仪和X 射线荧光分析技术及其计算机软件的不断开发，X 射线荧光光谱仪现已由单一的波长色散 X 射线荧光光谱仪发展成拥有波长色散、能量色散、电子探针、全反射、同步辐射和质子 X 射线光谱仪等一大家族。
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