1859年克希霍夫和本生为了研究金属的光谱，设计和制造了一种完善的分光装置，这个装置就是世界上第 一台实用的光谱仪器，研究火焰、电火花中各种金属的谱线，从而建立了光谱分析的初步基础牛顿第一次进17世纪，1666年物理学家行了光的色散实验,发现了光谱。
1882年，罗兰发明了凹面光栅 ，凹面光栅的问世不仅简化了光谱仪器的结构，而且还提高了它的性能 。
波耳的理论在光谱分析中起了作用，其对光谱的激发过程、从测定光谱线的绝对强度转到测量谱线的相对强度的应用，使光谱分析方法从定性分析发展到定量分析创造基础
1928年以后，光谱分析成了工业的分析方法，光谱仪得到迅速的发展
1958年我国开始试制光谱仪器，第一台中型石英摄谱仪问世 ；
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