20世纪科学技术的发展为全面革新露点技术奠定了基础。在Regnault露点仪的基础上，人们对制冷方法、镜面温度的测量、露的检测技术和冷镜材料等进行了不断的改进，并对露层的结构、机理及光电性质进行了初步探讨，把露点湿度计的性能和测量准确度提高到一个新的水平。到20世纪50年代末期，采用热电制冷、自动跟踪和测量露点的全自动光电露点仪开始发展起来，其后又出现了检测露层的其他手段，80年代声表面波(SAW)露点仪问世。露点仪的发展过程主要集中在下面四个问题上。
①制冷方法，即结露表面(镜面)的降温方法。
②露点的测量方法。
③露的检测方法和镜面温度的控制技术。
④镜面材料的选择。
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