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火焰法原子吸收光谱仪的组成部分主要包括光学系统、单色器系统、光度计、空气压缩泵、汽油汽化器,节流器和喷雾器系统等。原子吸收光谱仪可测定多种元素,火焰原子吸收光谱法可测到10-9g/mL数量级,石墨炉原子吸收法可测到10-13g/mL数量级。其氢化物发生器可对8种挥发性元素汞、砷、铅、硒、锡、碲、锑、锗等进行微痕量测定。