扩散炉智能控制系统设计重点有以下几个方面
总体来说，控制系统的选用，可以PLC+上位机，也可以直接PLC 。
1）温度控制，一般采用智能温控仪来控温，扩散炉分为口、中、尾三段独立控温。温度点可以修正补偿。温控仪最好是通信的，这样便于集成控制。
2）功率加热，炉体采用合金炉丝，加热建议采用可控硅移相的方式。
3）气体控制，炉体中得通入比例的气体，这里需要用到MFC精确控温，可以模拟量控制，也可以选用通信方式的。
4）控制系统，必须有几十条工艺可以存储。每条工艺根据需要至少得有10步满足使用。运行过程中，需要根据客户设定的时间推移，程序跳步，动态给定口中尾温度，动态给定气体流量。
5）安全监测设计，口中尾温度超温巡检，切断电源等保护措施。历史事件记录追溯查询。
6) 辅助机构的设计，比如进舟机构。
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