光电测距仪的测距误差分为两部分:
(1)比例误差:与被测距离长度成比例的误差，主要是由频率误差，大气折射率误差及真空光速测定误差给测距结果带来误差。其中光速测定误差对测距值的影响可忽略不计。
(2)固定误差:仪器固有的误差，与被测距离长度无关，包括零点误差的检定误差，仪器与反光镜的对中误差，测相误差，幅相误差，发光管相位不均匀性误差和周期误差。周期误差主要来源于仪器内部光电信号的同频窜扰，误差的大小是以精测尺的长度为周期重复出现的。
其中比例误差、周期误差、零点误差为光电测距仪的主要系统误差。
根据大量实测数据表明:由于仪器发光管和接收管相位不均匀性以及幅相误差等因素，仪器还存在除频率误差和大气折射率误差外，与距离长短相关的改正项，习惯上将与距离长短有关的改正数统称为乘常数!。零点误差的改正数称为加常数。系统误差可通过检定中获得系统误差值而施加改正的方法来消除。因此光电测距仪系统误差的检定主要包括以下三项:
(1)周期误差的检定;
(2)加常数的检定;
(3)乘常数的检定。
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