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原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)基本原理:将一个队微弱力极敏感的微悬臂一端固定,另一端有一个微小的针尖,其尖端原子与样品表面原子间存在及极微弱的排斥力,利用光学检测法或隧道电流检测法,通过测量针尖与样品表面原子间的作用力获得样品表面形貌的三维信息。可用来研究包括绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪器。