1. 同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角
2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器
3. 可选的无线遥控传感器最长的控制距离可到25米
4. 可测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性
5. 全套系统重量仅15公斤,设计紧凑、体积小,测量机床时不需三角架
6. 集成干涉镜与激光器于一体,简化了调整步骤,减少了调整时间
7、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等,以及测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性等。
8、激光干涉仪的光源——激光,具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。
9、激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。