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ICP-MS是通过质荷比来定性和定量测定不同元素含量,,出了部分放射性元素,其它元素均可测量。也可通过根气相色谱或液相色谱连用,来测定同一元素的不同价态或形态的含量,如三价砷和五价砷,有机汞和无机汞。由于其原理是离子直接打到检测器上产生信号,拥有极高的灵敏度,可达到ppt级别的浓度测定,也可进行单纳米颗粒和单细胞的元素分析。