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扫描电子显微镜的构造和工作原理

2023.3.13
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超级艾蛋木啊

致力于为分析测试行业奉献终身

简述扫描电子显微镜的构造和工作原理,对试样有要求和制备试样:

扫描电镜基本结构:电子光学系统+真空系统+样品装载和移动系统+信号探测器系统+ 电气控制系统+ 计算机系统。电子束作为点光源帧扫描样品,并接收逐点生成的信号作为视频信号。视频信号的显示器尺寸固定,当调节电子束扫描区域大小的时候,即实现视频图像放大倍数的调节。

能谱仪基本结构:探测器 + 电器控制系统 + 计算机系统 。入射电子束电离样品,伴随电子能级跃迁发射特征x射线,特征能量X射线轰击探测器半导体探测晶体,将能量转化为电信号,通过测量电信号大小可计算出特征X射线能量,从而知道样品中存在哪些元素。


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