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不同波长的表观量子效率如何综合

2023.8.15
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超级艾蛋木啊

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量子效率(Quantum Efficiency)(光谱特性)

定义为CCD芯片在一定波长入射光的照射下,由光电效应产生的平均光电子数与入射光子数之比,表征了CCD芯片对不同波长入射光的敏感程度。不同波长的光量子效率不同,CCD对某些波长的量子效率可高达98%。

光电子数量:

入射方式

l 当光从栅极一侧入射时,光会被栅极吸收一部分,并且某些波长的光子可能无法穿过栅极和SiO2绝缘层,量子效率低,甚至为0。如果光从衬底一侧入射,就没有栅极和SiO2绝缘层的阻挡和吸收。因此CCD相机有一项重要参数:入射方式,分为前照式和背照式。

前照式(Front-illuminated):从栅极电极一侧入射

背照式(Back-illumination):从衬底一侧入射

下图是Greateyes CCD相机不同照射方式的波长-量子效率曲线。可以看出,对波长550nm的入射光,背照式GE xxx xxx BI量子效率约60%,而前照式GE xxx xxx FI只有40%左右

提高量子效率的途径

从上图可以看出,同一款相机不同波长的量子效率是不同的。如果在CCD上加一层AR(Anti-Reflection)Coating抗反射涂层,会显著提高短波长区的量子效率。从上左图可以看出,对350nm波长,GE xxx xxx FI UV比GE xxx xxx FI高很多。

l 一块CCD芯片上有很多个像素时,每个像素都有一个势阱,这些像素就会产生出一幅与光照强度相对应的电荷包图像。

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