①图谱简单，分析速度快，动态范围宽:
②1CP-MS 分析灵敏度高，选择性好，比一般ICP-AES分析法高2、3个数量级(因分析元素不同而异)，比原于吸收法也高1~2个数量级，特别是测定质量数100以上的元素时灵敏度更高，检出限更低:
③ICP-MS理论上可以测定所有的金属元素和一部分非金属元素;
④可以同时测定各个元素的各种同位素，也可以对有机物中的金属元素进行形态分析。
⑤在大气压下进样，便于与其他技术联用。在环境分析中ICP-MS 可用于测定饮用水中水溶性元素总量，分析水体中Cr4+、Cu、Cd、Pb等金属非金属元素含量: ICP-MS 也可用于大气粉尘、土壤、海洋沉积物中重金属元素的测定，在汽车尾气净化催化剂和包装食品塑料袋的痕量分析中也有报道。
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