ICP-MS是一种常用的质谱仪产品，主要由等离子体发生器、雾化室、矩管、四极质谱仪和一个快速通道电子倍增管等部件组成，在多个行业中都有一定的应用。
一、开机
1、检查ICP-MS通风是否正常开启，要求稳定运行时的风速值为14。
2、打开氩气、氦气钢瓶，分压调至指定刻度(Ar：0.6~0.7Mpa，He：0.08Mpa)，打开循环冷却水主面板上的开关，打开自动进样器电源，安装蠕动泵管。
3、开启电脑。
二、ICP点火前的准备工作
1、样品的准备
样品要求和ICP相同为稀酸水溶液，固体样品应通过合适的方法转移至液相后进行分析。控制上机样品不含氢氟酸、有机物和颗粒物，总酸含量小于5%，含盐量小于0.1%。
为保证ICP-MS分析灵敏度，同时避免检测器污染样品中待测物的浓度应低于100ppb。未知浓度样品应先稀释1000倍进行分析，视结果情况再酌情减少稀释倍数。或先申请ICP了解样品中各元素的含量规律，选择含量低于100ppb素在ICP-MS上分析。
2、标准样品、内标溶液的准备
标准样品：分析时请根据需要稀释成0.1ppb至50ppb范围内的标准溶液。由于低浓度标准溶液不容易保存，建议及时更新。在ICP-MS上，建议只分析以下元素：As、Be、Bi、Cd、Cr、Co、Pb、Li、Se、V。在此之外的元素务必说明。
内标溶液：如有需要请自行准备，但需在ICP-MS申请表上注明内标元素名称含量，如有变化也请提前说明。
3、空白溶液的准备
ICP-MS进样背景溶液的准备：2%HNO3，0.5HCl，用电子级酸配在Millipore纯水中。每次开机点火前请检查背景溶液是否充足。
4、清洗液的准备
ICP-MS自动进样器“1”号位的洗瓶内加入去离子水作为系统清洗液，每次更换，及时添加。也可加入4%的硝酸作为酸性清洗液(配制方法：优级纯HNO3和Millipore体积比为1：24)。
三、样品分析前的准备工作
管路安装安装ICP-MS主机蠕动泵上的进样、排水及内标液进样管，安装ISIS的进样管。
重要注意事项：蠕动泵管安装需注意安装方向，方向错误可导致ICP-MS熄火，甚至炬管爆裂。建议点火前观察蠕动泵进样和排废液是否正常，没问题再进行点火及分析操作。
四、点火
点火前，请准备好标样、样品、背景溶液等。
点火前，请检查钢瓶气体、循环冷却水、通风是否已打开，管路是否都已安装好。
选择Plasma菜单，点击Plasma On。ICP-MS会先抽真空然后点火，
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