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真空泵的主要参数:(1)抽气速率:真空泵的抽气速率也叫生产能力,在一定温度下,真空泵在单位时间内能从设备内抽走气体的体积,单位m3/s或m3/h表示。(2)残余压力:也叫极限真空即真空泵能达到稳定状态下的最低压力,单位“Torr”或%表示。1Torr=1/760atm=133.3Pa。(3)抽气量:在一定温度下,真空泵在单位时间内能从设备内抽走指定气体量叫抽气量,单位m3/h。(4)起动压力:真空泵开始工作时的压力。