SplitFlow 涡轮分子泵 适用于多室同时抽真空

Pfeiffer Vacuum 的 SplitFlow 涡轮泵技术以一个真空系统替代多泵系统。SplitFlow系列的涡轮分子泵可以用一台泵同时对质谱系统的两个或三个腔体进行抽气。作为前级泵可根据气体载荷选用小型经济的干式膜片泵。这意味着投资和运营成本会显著减少。另一个优点是真空系统占地面积小。

SplitFlow 涡轮分子泵的抽速范围一般在690 l/s 到 10 l/s。 为便携式分析系统开发的小型涡轮分子泵的抽速范围介于 10 l/s 到 0.1 l/s 之间。
SplitFlow 涡轮分子泵不仅可用于分析仪器，还成功应用于分析原理同样基于质谱分析的检漏仪中。