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白光共聚焦Zeta-20 在微流控芯片领域的应用案例

2022.7.22


白光共聚焦轮廓仪 

Zeta-20 在微流控芯片领域

的应用案例

优尼康科技有限公司




目录

01

什么是微流控芯片(microfluidic chips)?

02

微流控的发展历程

03

微流控芯片应用领域及特点

04

微流控芯片种类

05

微结构的形成

06

微流控系统的组成

07

行业内知名企业

08

Zeta-20在微流控芯片的测试数据

01

  什么是微流控芯片(microfluidic chips)? 

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微流控芯片技术(Microfluidics),又称微流控芯片实验室(lab-on-a-chip)或微全分析系统(micro total analytical system, μTAS) ,是把生物、化学、医学分析过程的样品制备、反应、分离、检测等基本操作单元集成到一块微米尺度的芯片上, 自动完成分析全过程。

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02

  微流控的发展历程   

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1959

美国诺贝尔物理学奖得主Richard Feynman教授使用半导体材料将实验用的机械系统微型化,从而造就了世界上首个微型电子机械系统(Micro-electro-mechanical Systems,MEMS),这成为了未来微流控技术问世的基石。


1990

瑞士Ciba-Geigy公司的Manz与Widmer应用MEMS技术在一块微型芯片上实现了此前一直需要在毛细管内才能完成的电泳分离,首次提出了微全分析系统(Micro-Total Analytical System,ì-TAS)即我们现在熟知的微流控芯片。


1994

世界首届国际微全分析系统学术会议在荷兰Enschede举行,微流控芯片全面进入大众视野。


1995

全球首家专门从事微流控芯片技术的公司—Caliper Life Sciences在美国马萨诸塞州成立。


1990

世界首台微流控芯片商品化仪器-毛细管电泳微芯片由安捷伦公司和Galiper公司联合推出,被应用于生物分析和临床分析领域。

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03

 微流控芯片应用领域及特点 

微流控芯片系统涉及领域极其广泛,包括疾病检测、生化分析、蛋白质检测、药物筛选、毒品检测、商品检验、环境监测、刑事科学、军事科学及航天科学等,覆盖人们生活的方方面面。

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生物学领域

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化学领域

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分析化学领域

微流控特点

缩短分析时间

减少样品和试剂消耗

提高实验自动化程度

高分辨率和高灵敏度

集成化、微型化、便携化

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04

  微流控芯片种类  

▪      硅制微流控芯片

▪      玻璃微流控芯片

▪      聚合物微流控芯片(PDMS PMMA PC等)

▪      纸质微流控芯片

▪      其他


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硅制微流控芯片

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优点缺点导热性好硬度高,加工难度大表面稳定难以制作成阀和泵等微流控部件耐有机溶剂本身不透明,难以应用在在光学实验中易在金属表面沉积硅的价格相对昂贵
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玻璃微流控芯片

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优点缺点优秀的光学透明度不透气性较差,不能用于长期的细胞培养优异的耐高压性玻璃硬度较高,加工键合难度大生物相容性_化学惰性不透气性较差,不能用于长期的细胞培养允许高效涂层_
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聚合物微流控芯片

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优点缺点光学透明疏水性弹性有一定的弹性,内部通道在高压下会发生改变,很容易出现漏液情况无毒;稳定性_成本低_生物相容性好_
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05

  微结构的形成  

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一:

经典的光刻技术

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适合硅、玻璃、石英等材料,与传统的半导体工业的方法一致。

分为湿法和干法两种,干法的分辨率较湿法高,相应的制造成本也高。

二:

模版浇注法(模塑法)

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三:

激光刻蚀法

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用激光直接在聚合物或玻璃上加热形成微结构

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06

  微流控系统的组成 

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07

  行业内知名企业 

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08

  Zeta-20测试微流控芯片的种类数据与配置

使用设备

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KLA Zeta-20

白光共聚焦轮廓仪Zeta-20提供多种光学测试技术满足用户各种领域测试需求■  ZDot™ Z 点阵三维成像技术是Zeta所有系列产品的标配技术,Z点阵独特的明暗场照明方案结合不同物镜帮助客户测量“困难”的表面。■  ZIC 干涉反衬成像技术,实现纳米级粗糙度表面的成像及分析。■  ZSI 白光差分干涉技术,垂直方向分辨率可达埃级。■  ZI 白光干涉技术,大视场下纳米级高度的理想测量技术。  ■  ZFT 反射光谱膜厚分析技术,集成宽频反射光谱分析仪,可测量ULA+ 2et-20薄膜材料的厚度、折射率和反射率。

单层流道深度测量(有盖板)

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层流道深度测量(有盖板)

-流道底部有纹路

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微孔深度测量及多孔平整度测量(无盖板)

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本文作者

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胡树栋

华东区销售经理

薄膜测量行业从业十多年,对于薄膜量测的方案解决有着丰富的经验。让微流控芯片行业中需要量测流道形貌及深度这类原本比较棘手的问题得到了的解决。

长风破浪会有时,直挂云帆济沧海。

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我们深耕薄膜测量行业十多年,不论您在薄膜测量方面有什么问题,我们的技术专家都可以为您提供有价值的建议或解决方案。欢迎来电,我们很高兴与您讨论您的应用问题。



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