1）液体样品引入ICP光源
A) 将液体雾化成气溶胶状态引入ICP光源，常用的有气动雾化和超声波雾化。
B) 将液体以电热蒸发或直接插入技术来引入ICP光源。
2）固体样品引入ICP光源
A) 电弧式火花融蚀，用放电方式将固体样品的表面产生气溶胶引入ICP光源中。
B) 将固体样品用电热蒸发技术（ETV）引入ICP光源。
C) 激光融蚀，用激光的能量产生的微粒（气溶胶、溅射微粒、蒸气羽等）引入ICP光源。
D) 将固体样品直接插入ICP光源。
E) 其他将粉末固体样品引入ICP光源的方法，如低带法，泥浆法等。
3）气体样品引入ICP光源
A) 气态样品直接引入ICP光源。
B) 氢化物发生法。
C) GC—ICP联用。
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