一、EPMA相对于SEM,(平台方面):
1.可以大束流,计数率与束流成正比;
2.束流控制和稳定性更好;
3.EPMA有光学显微镜控制样品高度。
二、EPMA(WDS)与EDS,(EPMA标配WDS,SEM选配EDS):
1.EPMA分辨率比EDS高一个数量级;
2.EPMA的灵敏度优于EDS,测试微量元素时效果更好;
3.EPMA检出限更低;
4.EPMA是有标测试,精度高。
三、EPMA与SEM+WDS,(SEM选配WDS,与EPMA标配WDS):
1.WDS(SEM)是单通道,1个检测器配4个分光晶体,测试时旋转晶体。EPMA可以5个通道5个检测器同时测试,效率更高;
2.单通道时,方位受限;
3.由于SEM的小束流,灵敏度低,低含量元素测试受限;
4.EPMA检测限更低;
5.SEM+WDS低倍测试不能(最低40X左右),EPMA可分性区域更大(样品台扫描)。
四、SEM+EDS优势:
1.更好的电子图像质量(二次电子分辨率、锐度方面等更好);
2.SEM+EDS更快速的半定量解析;
3.分析过程更简单一些。