扫描电镜中更换灯丝及枪对中操作

更换灯丝及枪对中操作

一、更换灯丝：

1、点操作界面的Sample，选择“Vent”（此时电镜主机上的“放气”指示灯开始闪烁，停止闪烁为工作完成）

2、取下灯座外面的帽子，打开灯座。

3、用专用工具套上山级帽，用螺丝刀螺紧专用工具外面的螺丝（用力不要太大）。

4、用力向外拔出山级帽（注意：在放置山级帽的时候要轻拿轻放）

5、用螺丝刀螺松山级帽上的螺钉。

6、取出旧灯丝。

7、用棉签带金属抛光膏擦拭山级帽内部。

8、更换新灯丝（注意：更换时要注意灯丝的正负级，在山级帽的内侧有一个突起，灯丝座有一个凹，在装入灯丝的时候一定要小心，不能使灯丝与其它物质发生碰撞）

9、固定山级帽上的螺钉。

10、 将山级帽安装到灯座上。

11、 盖上灯座帽。

12、 点击Sample中的“Evac”，真空泵开始工作，当“HT”变为蓝色，抽真空完成。

二、枪对中

1、 点击操作窗口上的“Gun”，打开枪对中操作界面。

2、点击枪对中操作界面上的“AUTO”（全自动调整）

3、调整完毕后，再调整灯丝的加电压。注意：在调整灯丝加电压的时候不要把调整到黄色心内，调整到到黄色的交点处即可）

4、打开高压

5、调整X、Y轴使图像调整最清楚的位置。

6、将束斑以10递增，到70再回到30。

7、枪对中调整完毕。