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TEM的光学与成像设备

2018.6.30
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JMCA

致力于为分析测试行业奉献终身

快速的电子开关进行打开、改变和关闭。改变的速度仅仅受到透镜的磁滞效应的影响。

电子光学设备

        通常,TEM包含有三级透镜。这些透镜包括聚焦透镜、物镜、和投影透镜。聚焦透镜用于将最初的电子束成型,物镜用于将穿过样品的电子束聚焦,使其穿过样品(在扫描透射电子显微镜的扫描模式中,样品上方也有物镜,使得射入的电子束聚焦)。投影透镜用于将电子束投射在荧光屏上或者其他显示设备,比如胶片上面。TEM的放大倍数通过样品于物镜的像平面距离之比来确定。另外的四极子或者六极子透镜用于补偿电子束的不对称失真,被称为散光。需要注意的是,TEM的光学配置于实际实现有非常大的不同,制造商们会使用自定义的镜头配置,比如球面像差补偿系统 或者利用能量滤波来修正电子的色差。

成像设备

        TEM的成像系统包括一个可能由颗粒极细(10-100微米)的硫化锌制成荧光屏,可以向操作者提供直接的图像。此外,还可以使用基于胶片或者基于CCD的图像记录系统。通常这些设备可以由操作人员根据需要从电子束通路中移除或者插入通路中。


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