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超纯水的水质一般用电阻率表示,电阻率的单位是MΩ.cm,水会因为离子的去除电阻增加,但电阻会随着水中只有H2O而不再升高,电阻率的极限是18.2MΩ.cm,它与电导率互为倒数关系。
电阻率会随着水温的升高而降低,我们通常水的18.2MΩ.cm的超纯水是在25℃时的数值,在25℃左右,一般温度每升高1°,电阻率下降0.84MΩ.cm,反之一样。