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致力于为分析测试行业奉献终身
载气流量:
流量增大,中心部位温度下降;
载气的压力:激发温度随载气压力的降低而增加;
频率和输入功率:激发温度随功率增大而增高,近似线性关系,在其他条件相同时,增加频率,放电温度降低;
第三元素的影响:引入低电离电位的释放剂(如T1)的等离子体,电子温度将增加。