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影响热阴极电离真空计测量下限的原因是什么?

2021.6.25
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coco5517

认真做好每一件喜欢的事,把每一件要做的事都变成喜欢并认真去做的事

  电子打到收集极上产生软X射线辐射,离子收集极吸收了软X射线会产生光电子发射,由此形成的电子电流正好与离子电流方向一致,故叠加在一起,但此电流与压力无关,当压力降低到形成的离子电流明显小于光电流时,收集极的离子流便不再随压力变化,即到达测量下限。增大离子流,减小光电流可以使测量下限的拓展。

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