角分辨微分散射仪是一种用于物理学、材料科学领域的分析仪器，于2018年6月8日启用。
技术指标
1. 角度分辨率：<0.001° 2. 横向X运动范围：-50mm~+50mm，纵向Y运动范围：-25mm~+25mm 3. 入射角 运动范围：-90°~+90°, 极化角 运动范围：-270°~+270°, 方位角 运动范围：-90°~+90° 4. 重复性：<5% 5. 测试波长：320nm, 633nm, 808nm, 1064 nm 6. 灵敏度：0.13ppm（320nm）；0.74ppm（633nm）；0.19ppm（808nm）；0.03ppm（1064nm） 7. 透射半球ARS，反射半球ARS 8. 支持圆偏振、s偏振、p偏振光入射；支持s偏振、p偏振光探测。
主要功能
该仪器主要应用于测试样品散射损耗，在高角度分辨率与高检测灵敏度条件下获得样品的角分辨散射图。
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