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EDX,EDS，XPS,AES的异同

2022.1.04
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超级艾蛋木啊

致力于为分析测试行业奉献终身

以下方法供您参考：EDX:Energy Dispersive X-Ray Fluoresence Spectrometer
能量色散X射线荧光光谱仪
EDS:Energy Dispersive Spectrometer
能量色散谱仪
EDX是荧光分析，EDS是能谱分析，后者不是x射线能谱仪，如果想准确定量，可以考虑化学分析，XPS,或者俄歇分析(AES)，XPS和AES对表面含量较为适合。

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