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衬度是存在差异而引起的。衍射衬度:由样品内不同区域的晶体学特征存在差异而引起的。也可以认为是由于晶体薄膜的不同部位满足布拉格衍射条件的程度有差异而引起的衬度。相位衬度:由于样品调制后的电子波存在相位差异而引起的。Z衬度:与样品微区的平均原子序数有关。