真空质谱计的主要参数有质量范围、分辨能力、灵敏度、最小可检分压强、最高工作压强。
①质量范围:在满足一定分辨能力和灵敏度的要求下,所能分析的质量范围,用原子质量单位或质量数表示。
②分辨能力:表征质谱计可分辨两个相邻离子谱峰的能力。
③灵敏度:在一定发射电流下,仪器检测的气体离子流与其在离子源中分压强的比值。
④最小可检分压强:这一参数反映质谱计灵敏度和仪器检测离子流信号能力的综合性能。
⑤最高工作压强:质谱计允许工作的最高总压强。
真空质谱计的主要类型有:磁偏转质谱计、回旋质谱计、四极质谱计和飞行时间质谱计。