真空脱气仪按照预设的脱气程序每日运行，脱气通过两个阶段进行：
进水阶段：系统液体通过电磁阀进入脱气罐，液体中含有的气体会被释出，并通过脱气罐顶部的自动放气阀与系统分离。
抽真空阶段：随着进水电磁阀关闭，抽真空阶段的过程开始。立式多级泵会对罐内持续抽真空，制造负压状态，使液体中溶解的气体全部释出，聚集在罐的顶部并通过自动放气阀排出。此时进水电磁阀再次打开，新的液体进入罐内。那些无气的、有收性的液体被重新注回系统参与循环，并可以收系统中已有的气体。当这些液体再次进入脱气机时，那些新溶进的气体同样会被脱除。
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