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xrd薄膜法能够测定薄膜什么性质

2022.6.13
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超级艾蛋木啊

致力于为分析测试行业奉献终身

不知道你所说的薄膜法指什么.

一般对于薄膜材料,XRD能够做:

  1. 掠入射(GIXRD):    分析晶态薄膜物相,残余应力

  2. 反射率测量(XRR):    对膜质量要求较高,晶态非晶皆可.一般分析纳米级别薄膜的厚度,深入一点可通过拟合的方法来分析密度,表面界面的粗糙度

  3. 掠入射小角散射(GISAXS):    分析薄膜的纳米结构.这个比较新.


xrd薄膜
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