X射线荧光仪器是指波长为0.01~10nm的电磁波，1895年伦琴（W. C. Roentgen）在使用放电管工作时发现了X射线，因为这一个重大发现，伦琴于1901年获得了诺贝尔奖。1913年莫斯莱（H. G. Moseley）建立了X射线波长与原子序数的关系，奠定了X射线荧光光谱分析的基础，第一台波长色散X射线荧光分析仪是在1948年由H.费里德曼（H. Friedmann）和L.S.伯克斯（L. S. Birks）制造出来的，20世纪50年代后X射线荧光分析法开始迅速发展，随后其在分析领域的地位到了60年代得以确立。
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