在每天使用过程中，一定要形成一个良好的习惯，分析开始检查表观雾化效果，发现问题及时处理；分析结束时用5-10%的硝酸来清洗5-10分钟，再用去离子水清洗5-10分钟，这样便于清除样品携带的沉积物或结晶滞留在雾化器内造成雾化器性能的下降，从而降低雾化器损坏的几率。
对于玻璃或石英的同心雾化器的维护，由于其设计和制作材料的特殊性，玻璃同心雾化器的维护必须坚持三不原则：
其一，不使用高浓度HF酸浸泡（HF可以与玻璃或石英发生化学反应的）；
其二，不使用超声波清洗（超声可以损坏毛细管的喷嘴）；
其三，不使用金属丝反捅（喷嘴可能被损坏）。
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