氮分子激光器是一种重要的近紫外相干光源。它的输出峰值功率高(Peak power__45 kW ),脉冲持续时间短(<3.5 ns),而且结构简单,制造容易,因此受到人们的广泛重视。
它可以作为有机染料激光器的泵浦光源,可以获得从近红外到近紫外的连续可调激光输出,是激光喇曼光谱仪的一种理想光源。此外,氮激光器在激光分离同位素、荧光诊断、超高速摄影、污染检测以及医疗卫生、农业育种等方面也得到广泛应用。由于其短波长更易聚焦得到小光斑,因此被用于加工亚微米量级的元件了,例如光掩模、复杂的集成电路、薄膜电阻的生产。