仪器名称: | 12寸手动探针台-MPI TS300 |
仪器编号: | 23030634 |
产地: | 中国台湾 |
生产厂家: | MPI |
型号: | TS300 |
出厂日期: | |
购置日期: | 2023-12-19 |
所属单位: | 集成电路学院>微纳加工平台>高精尖 |
放置地点: | 荷清大厦(润泽大厦) A座一层实验室C101 |
固定电话: | 62799552-1168 |
固定手机: | 15210967285 |
固定email: | jtyang@mail.tinghua.edu.cn |
联系人: | 杨建涛(010-61453947,15210967285,jtyang@mail.tsinghua.edu.cn) |
分类标签: | 集成电路 |
技术指标: | XY轴大范围驱动方式:气浮式360°单手驱动 XY轴移动范围:330 x 420 mm XY<span style="font-size |
知名用户: | 钱鹤 唐建石 孙楠 |
技术团队: | 测试工作由实验室资深的工程师或者技术人员进行操作和支援 |
功能特色: | 可用于一般数字电路的研究,可以支持12寸及以下尺寸(4/6/8寸)晶圆的直流性能测试;可以支持探卡和探针;可以支持20℃~200℃。 连接晶圆与仪表,配合直流性能测试 |
项目名称计价单位费用类别价格备注12寸手动探针台测试费元/小时自主上机机时费140.0