| 仪器名称： | 磁控溅射镀膜机 |
| 仪器编号： | 13001328 |
| 产地： | 中国 |
| 生产厂家： | 创世威纳科技公司 |
| 型号： | MSP-3200T |
| 出厂日期： | 201301 |
| 购置日期： | 201301 |
| 所属单位： | 集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺 |
| 放置地点： | 一楼平台 |
| 固定电话： | |
| 固定手机： | |
| 固定email： | |
| 联系人： | 魏治乾（010-62781090,19801221361,zhiqianwei@tsinghua.edu.cn） |
| 分类标签： | 微纳加工 集成电路 半导体工艺 溅射镀膜 |
| 技术指标： | 目前可溅射的材料如下： A腔室：SiO2、ITO、ZnO、TiO。B腔室： Al、Cu、Ti、Mo、TiW。 |
| 知名用户： | 王喆垚(微电子所)、陈兢(北京大学)、何立平(中科院物理所)、严清峰(化学系)、许军(微电子所)、尤政(精仪系) 朱荣(精仪系)、张志勇(北京大学)、金传洪(浙江大学) |
| 技术团队： | 工艺工程师：韩冰 设备工程师：仲涛 工艺主管：伍晓明 设备主管：刘朋 实验室主任：吴华强 |
| 功能特色： | 主要用于溅射各类金属和氧化物薄膜； 本设备有两个相互独立的腔室，可分别用于溅射金属和非金属类薄膜，每个腔室可以放置三块不同的靶材； 样品尺寸：4寸及以下整片或碎片 目前可溅射的材料如下： Al、Cu、Ti、Mo、TiW、SiO2、ITO、ZnO、TiO。 |
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 双腔溅射 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 400.0 | 贵重金属加收材料费100元/10nm |
| 双腔送样溅射 | 元/小时 | 测试费 | 400.0 | 贵重金属加收材料费100元/10nm |
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