仪器名称: | 大功率探针台-MPI TS2000HP |
仪器编号: | 22013848 |
产地: | 中国台湾 |
生产厂家: | MPI CORPORATION |
型号: | TS2000-HP |
出厂日期: | |
购置日期: | 2022-08-12 |
所属单位: | 集成电路学院>微纳加工平台>高精尖 |
放置地点: | 荷清大厦A座一层实验室 |
固定电话: | 010-62799552-1168 |
固定手机: | 13910754014 |
固定email: | xugao@mail.tsinghua.edu.cn |
联系人: | 杨建涛(010-61453947,15210967285,jtyang@mail.tsinghua.edu.cn) |
分类标签: | 集成电路 |
技术指标: | 1. 测试最大电压:10KV 2. 测试最大电流:100A 3. 测试wafer尺寸:4/6/8寸wafer及碎片 4. 测试环境:-60℃~300℃ 5. 支持测试类型: 功率半导体器件(如Power MOSFET、IGBT、SiC等)特性分析与测试; 可测量栅电荷Qg、电流崩塌等动态参数; 6. 支持器件类型:水平器件/垂直器件。 7. 安全测试以及屏蔽效果: 配备电磁屏蔽腔体,可达到fA级屏蔽; 拥有红外安全防护光幕网。 |
知名用户: | 王敬(集成电路学院) |
技术团队: | 测试工作由实验室资深的工程师或者技术人员进行操作和支援。 |
功能特色: | 大功率探针台是大功率器件测试的配套设备,TS2000-HP使用时与功率器件分析仪连接,可以在变温环境(-60℃至300℃)下实现10000V、100A的半自动晶圆级测试 |
项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
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大功率探针台测试费 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 500.0 |