| 仪器名称： | 高低温全自动探针台-Opus 3 SLT |
| 仪器编号： | 22007413 |
| 产地： | 韩国 |
| 生产厂家： | Semics Inc. |
| 型号： | Opus 3 SLT |
| 出厂日期： | |
| 购置日期： | 2022-06-30 |
| 所属单位： | 集成电路学院>微纳加工平台>高精尖 |
| 放置地点： | 荷清大厦高精尖一层实验室 |
| 固定电话： | 010-62799552-1168 |
| 固定手机： | 15210967285 |
| 固定email： | jtyang@mail.tsinghua.edu.cn |
| 联系人： | 杨建涛（010-61453947,15210967285,jtyang@mail.tsinghua.edu.cn） 王艳平（010-66668888,15010148547,yanpingwang1009@mail.tsinghua.edu.cn） |
| 分类标签： | 集成电路 |
| 技术指标： | 卡盘（Chuck）能承载200KG。 配备OCR影像识别及自动对针系统。对针镜头为对准探针的上看方式，完全自动，量产不需要每次人工对准 配备GPIB通讯模组。 同时支持8吋及12吋晶圆自动探针测试。 图形（Mapping）格式适用于TSK、TEL、OPUS等厂家的驱动。 GPIB支持TSK、TEL、OPUS等厂家的驱动。 图形（Mapping）实时上传到服务器指定路径。 记录（Log）实时上传至指定路径。 支持CLEAN PAD（100 mm*200 mm）和CLEAN WAFER(8 &12INCH)两种清针模式。 通过TeamViewer、VNC软件远程控制。 测试温度范围：-55℃~200℃ 测试温度精度：±1℃ 可测晶圆尺寸：同时支持8吋及12吋 可接受的管芯大小：0.2mm-100mm 系统总体精度：±1.5 um 卡盘（Chuck）的平坦度在15μ之内 平均故障间隔时间MTBF超过180H 可接受wafer弯曲度:8吋 wafer/ WP:2mm 12吋 wafer/ WP:2mm |
| 知名用户： | 唐建石（集成电路学院） |
| 技术团队： | 测试工作由实验室资深的工程师或者技术人员进行操作和支援 |
| 功能特色： | 配备OCR影像识别及自动对针系统。对针镜头为对准探针的上看方式，完全自动，量产不需要每次人工对准 配备GPIB通讯模组。 同时支持8吋及12吋晶圆自动探针测试。 图形（Mapping）格式适用于TSK、TEL、OPUS等厂家的驱动。 GPIB支持TSK、TEL、OPUS等厂家的驱动。 图形（Mapping）实时上传到服务器指定路径。 记录（Log）实时上传至指定路径。 支持CLEAN PAD（100 mm*200 mm）和CLEAN WAFER(8 &12INCH)两种清针模式。 通过TeamViewer、VNC软件远程控制。 |
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 高低温全自动探针台测试费 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 220.0 |
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