| 仪器名称： | 高真空电子束蒸发系统 |
| 仪器编号： | 14030917 |
| 产地： | 美国 |
| 生产厂家： | Kurtj.Lesker |
| 型号： | KJLC PVD75 |
| 出厂日期： | 190507 |
| 购置日期： | 201412 |
| 所属单位： | 集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺 |
| 放置地点： | 微电子所新所一楼微纳平台 |
| 固定电话： | |
| 固定手机： | |
| 固定email： | |
| 联系人： | 韩英（010-62782076,18601218109,hanying@mail.tsinghua.edu.cn） 窦维治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn） |
| 分类标签： | 半导体 电子束蒸发 材料制备 |
| 技术指标： | 真空度可达到10-8Torr量级；具有基片加热功能，最高可以加热到450℃ |
| 知名用户： | 钱鹤研究员，吴华强副研究员，王敬研究员 |
| 技术团队： | 吴华强副研究员，伍晓明副研究员，窦维治支持工程师，韩冰设备工程师，李志东工艺工程师 |
| 功能特色： | 该设备具有以下特点：真空度可达到10-8Torr量级；具有基片加热功能，最高可以加热到450℃；可对8英寸及以下硅片进行镀膜；蒸发速率快,均匀性好；所蒸发的金属薄膜易于剥离；同时能够对薄膜的蒸发速率和厚度进行实时监测。目前可蒸发材料包括Al，Sc，Sn，Ge等。 |
样品要求：
可对8英寸及以下硅片进行镀膜
预约说明：
实验室的设备采用网上预约的方式、以先约先用为基本原则
取消预约需提前2个小时通过网上取消预约
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 上机费 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 800.0 | |
| 送样测试费 | 元/小时 | 测试费 | 800.0 |
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