| 仪器名称： | 真空互联-分子束外延系统(半导体） |
| 仪器编号： | 21028773 |
| 产地： | 日本 |
| 生产厂家： | EpiQuest Inc |
| 型号： | RC2100Se |
| 出厂日期： | |
| 购置日期： | 2021-11-18 |
| 所属单位： | 集成电路学院>微纳加工平台>真空互联 |
| 放置地点： | 微电子学研究所南平房实验室108号 |
| 固定电话： | 010-62784044 |
| 固定手机： | 13051135063 |
| 固定email： | zygao@mail.tsinghua.edu.cn |
| 联系人： | |
| 分类标签： | 薄膜 半导体 微纳 |
| 技术指标： | ◇ 主腔真空： 1.5×10–10 Torr ◇ 源炉数量： 8个 ◇ 样品台最高温度： 900 °C ◇ RHEED最高电压及电流： 30 KV/1.55 A ◇ 冷却方式：液氮冷屏 ◇ 原位束流即时监控系统，束流控制稳定度优于1% |
| 知名用户： | 材料学院宋成教授课题组 |
| 技术团队： | 微电子所 |
| 功能特色： | 实现氧化物、半导体和金属材料等很多薄膜材料的外延生长，且生长速率高精度可控，可以获得具有突变界面的高质量的外延层，也可以精确的控制沉积薄膜的厚度、掺杂以及薄膜的组成比例 |
样品要求：
2in或旗形样品托
预约说明：
由于该套系统的特殊性，将采用不同以往的开放形式：使用设备团队负责人提出项目申请、项目评审委员会提出预审意见并由中心主任审批、设备工程师负责具体机时安排和使用培训。
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 材料生长 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 480.0 |
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