| 仪器名称： | 真空互联-原子层沉积系统 |
| 仪器编号： | 21029113 |
| 产地： | 芬兰 |
| 生产厂家： | Picosun Oy |
| 型号： | R-200 Advanced |
| 出厂日期： | |
| 购置日期： | 2021-11-25 |
| 所属单位： | 集成电路学院>微纳加工平台>真空互联 |
| 放置地点： | 微电子学研究所南平房实验室108号 |
| 固定电话： | 01062784044 |
| 固定手机： | 13051135063 |
| 固定email： | zygao@mail.tsinghua.edu.cn |
| 联系人： | |
| 分类标签： | 半导体 薄膜 微纳 |
| 技术指标： | 样品最大尺寸： 8英寸（兼容2英寸） ◇ 样品不均匀性：优于1.0% ◇ 载物台最高温度： 500 °C ◇ 腔体最高温度： 500 °C ◇ 前躯体最高加热温度： 200 °C ◇ 带等离子增强功能，射频电源300 W ◇ 气路：O plasma， H2O，Al源，Ti源，Hf源，Zr源六路前躯体管路 |
| 知名用户： | 科学学院宋成教授课题组 |
| 技术团队： | 微电子所 |
| 功能特色： | 将物质以单原子膜形式一层一层的生长在沉底上 |
样品要求：
8英寸（兼容2英寸）
预约说明：
由于该套系统的特殊性，将采用不同以往的开放形式：使用设备团队负责人提出项目申请、项目评审委员会提出预审意见并由中心主任审批、设备工程师负责具体机时安排和使用培训。
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 材料生长 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 750.0 | 使用Pt贵重前驱体需430元/10nm |
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