徕卡课堂丨共焦与干涉的不期而遇

精准的表面分析是在众多生产和研发过程中不可或缺的因素，以此来确保材料和组件的性能优化。在日益复杂的半导体加工行业中，对器件的结构检测要求也越来越高；在汽车和航空航天行业，组件的表面粗糙度是决定组件性能至关重要的因素。

然而，样品表面错综复杂的结构，不同的高倾斜度，会要求横向分辨率达到亚微米，垂直方向分辨率甚至达到纳米级。如何获取高质量的二维图像，执行复杂的三维表面分析，得出精准的分析结果？

共焦和干涉的一场美丽邂逅，将多功能快速 3D 表面测量技术推上了一个新的顶峰。

感谢北京大学微电子工艺实验室与中国科学院半导体研究所提供的检测样品及测试环境。

希望立足于此，将来为中国科学研究及精密测量领域提供更优质的设备与服务。