KRI 考夫曼霍尔离子源光学蒸镀镀膜机应用

2022.6.24

作者伯东贸易

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伯东公司 KRI 考夫曼霍尔离子源光学蒸镀镀膜机应用

常见蒸镀机台与对应 KRI 霍尔离子源型号：

蒸镀机台尺寸	KRI 离子源
~1100mm	eH1010
1100~1400mm	eH1010, eH1020
1400~1900mm	eH1020, eH3000

离子源

KRI 考夫曼霍尔离子源 controller 自动化控制及联机自动化设计，提供使用者在操作上更是便利。

离子源

KRI 考夫曼霍尔离子源 Gun body 模块化之设计、提供使用者在于基本保养中能够降低成本及便利性。

离子源

伯东公司客户 1400 mm 蒸镀镀膜机安装 KRI考夫曼霍尔离子源 EH1020 F，应用于塑料光学镀膜。

离子源

KRI 考夫曼霍尔离子源 EH1020 主要参数:

Filament Controller	Discharge controller	Gas controller
17.2A/ 22V	150V/ 4.85A	Ar/ 32sccm

离子源

利用 KRI 考夫曼霍尔离子源辅助镀膜及无离子源辅助镀膜对镀膜质量之比较：

	KRI EH1020 辅助镀膜	无 Ion Source 辅助镀膜
盐水煮沸脱膜测试	优	劣
破坏性百格脱膜测试	优	劣
光学折射设率	高	低
膜层致密性	优	劣
膜层光学吸收率	无	有
制程腔体加热温度	低	高
生产成本	低	高

KRI 考夫曼霍尔离子源系列主要型号包含：

	离子源 eH200	离子源 eH400	离子源 eH1010	离子源 eH1020	离子源 eH3000
Cathode	Filament or Hollow cathode	Filament or Hollow cathode	Filament or Hollow cathode	Filament or Hollow cathode	Hollow cathode
Water Cooled Anode	no	no	no	yes	no
Discharge Currentmax	2 A	3.5 (7) A	10 (7) A	10 (20) A	20 (10) A
Discharge Voltagemax	300 V	300 (150) V	300 (150 ) V	300 (150) V	250 (300) V
Discharge Voltagemin	40* V	40* V	40* V	40* V	40* V
Divergence (hmhw)	45°	45°	45°	45°	45°
Height (nominal)	2.0”	3.0”	4.0”	4.0”	6.0”
Diameter (nominal)	2.5”	3.7”	5.7”	5.7”	9.7”

伯东公司主要经营产品德国 Pfeiffer涡轮分子泵, 干式真空泵, 罗茨真空泵, 旋片真空泵; 应用于各种条件下的真空测量(真空计, 真空规管);氦质谱检漏仪；质谱分析仪；真空系统以及 Cryopump 冷凝泵/低温泵, HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机和美国KRI Kaufman 考夫曼离子源（离子枪）

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
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