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聚束科技跨尺度表征技术联用方案

聚束科技
2021.4.15

浩瀚星辰,广袤无垠

宇宙的直径约1600亿光年,与浩瀚无垠的宇宙相比,万物无疑是渺小的。天外的世界,新鲜且神秘。浩瀚宇宙、繁星点点;探索宇宙、观测恒星或是人类登月,以往看起来遥不可及的,都在一一实现。

走过繁忙的十字路口,间隙抬眸,透过万丈阳光的树叶,依稀可见远处高楼。阳光退出街道,千灯万盏,只有一轮月亮陪伴在身旁。回家卸下一身疲惫,望向窗外,车流不息,路灯下的树木繁花,涓埃之微。

“小”与“大”的辩证关系,微观与宏观的不同世界,有着对立面之间相互吸引相互转化的性质和趋势。见微知著,点滴水可见江湖,自然可从一叶落而知天下秋。

细小至微,清晰可见

聚束科技跨尺度联用表征方案通过对Clipper全自动显微扫描仪、Navigator系列高通量(场发射)扫描电镜与Captain分析型场发射一体机的整合联用,协同合作,实现样品形貌特征及元素组成的跨尺度成像及分析。分析过程中产生的数据集可达TB量级,这些海量数据将会帮助对待分析的材料进行彻底全面的挖掘剖析。

首先使用Clipper全自动显微扫描仪对样品进行全域光学信息检视,再经由Navigator系列高通量(场发射)扫描电镜对特定目标区域进行大范围纳米尺度SEM成像;最终使用具有高拓展性的Captain分析型场发射一体机,对光学/SEM判定出的特殊结构进行精准的定点分析。

Navigator系列高通量(场发射)扫描电镜

Clipper全自动显微扫描仪

联用方案中,光学显微镜使用可见光作为成像介质,其波长分布于200-800nm范围,用于快速对样品全域进行便览,并建立样品坐标映射。受限于可见光的衍射极限,光学显微镜的极限分辨率仅到达亚微米层级。扫描电镜使用电子束作为成像介质,通过控制汇聚的电子束在样品表面做扫描,并采集样品因形貌或成分差异而被激发出的信号电子来成像;由于电子波波长极短(纳米级别),其极限分辨率远远超过光学显微镜,从而可以与光学显微设备形成互补关系。

光电关联显微技术结合了二者的优势,在亚微米和纳米结构之间建立了一座桥梁,让使用者可以轻松从微米、纳米两级尺度,全面、多维度掌握样品信息。

创新发展,产业共进

4月21-23日,在无锡将举办第十五届中国科学仪器发展年会(简称ACCSI2021),聚束科技受邀参加此次会议并设立展位(展位号:A区48号),欢迎各位专家老师莅临指导,与现场的工程师一同探讨聚束科技跨尺度联用表征等技术。

在大会最后一天(4月23日),将于13:30-17:00举办首届中国电镜产业化发展论坛。聚束科技总经理何伟将出席论坛并做报告,从技术创新出发,分享电镜产业化经验。请您关注~

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