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直播回顾 | 徕卡EM ACE600高真空镀膜仪产品应用介绍及现场实机操作演示

徕卡显微系统
2021.7.23

直播回放

2021年5月19日在上海徕卡客户体验中心(Leica Microsystems CEC),开展了“Leica EM ACE600高真空镀膜仪产品应用介绍及现场实机操作演示”的直播活动。该讲座围绕电镜镀膜技术发展、镀膜作用、影响镀膜质量因素、以及EM ACE600的特点、功能、实验案例、操作和维护等话题,进行了系统的介绍和实机操作演示。

直播精华内容

镀膜作用

对于电子显微镜分析表征而言,镀膜最重要的作用在于减少样品表面荷电效应、提高表面二次电子/背散射电子信噪比、防止电子束辐照损伤等。

影响镀膜质量的因素

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通常,影响镀膜质量的因素主要有:靶材材质、膜厚和真空度。a). 在相同镀膜条件下,不同靶材材质镀膜的颗粒尺寸会大不相同,其中Au颗粒最大,W最小。同时,不同材质膜层的稳定性也有较大差异,例如Au膜层较稳定,W膜层极易被氧化等;b). 通常,膜层膜厚越大,其颗粒尺寸也越大;c). 真空度是影响镀膜质量的最关键因素,镀膜仪环境真空度越高,其腔室内残留的空气杂质就越少,镀膜过程中溅射出的靶材颗粒尺寸、分布就约均匀。

EM ACE600的特点及功能

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EM ACE600采用一体化无油泵,减少油气对仪器的影响;

同时可装配两个靶头,可在四种靶头之间选择;

采用柜门式大舱体设计,能够方便快捷放置大尺寸样品;

可选配辉光放电电极,进行样品表面亲水化处理和表面等离子清洁工作;

可升级冷冻传输、冷冻刻蚀;可配置5种样品台,适用于不用尺寸、种类样品;样品台垂直方向高度可调(30 mm---100 mm),水平方向角度连续可调(-60°---+60°);

可选配膜厚检测,精准(0.1 nm)控制镀膜厚度。

EM ACE600操作和维护

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EM ACE600配有大触摸屏,操作界面简单明了,方便用户快速、直观地设定镀膜过程中靶材、样品台、真空度等参数,并可以进行靶材预镀和样品台位置测试,方便客户提高镀膜质量和成功率。同时,系统还包含队列系统,可以通过设定一系列队列操作程序,一次性实现复杂的镀膜操作流程。

EM ACE600日常维护简单,各部件极易拆卸装配。本直播活动最后进行了实机维护操作培训,方便客户随时观看学习。

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