现今是我国材料迅猛发展的黄金时代,包括动力电池,微电子,钢铁合金,行星地质等学科或行业对材料的表征,尤其是微区化学元素分析方面的要求也越来越高。以往在双束电镜系统中的扫描电镜结合附带的X射线能量色散谱仪(SEM-EDX)进行材料样品的微区化学元素分析已经无法满足材料科学中的表征应用要求。比如在动力电池行业,扫描电镜X射线能谱技术无法检测材料中的氢(H)元素,对于锂(Li)元素的检测需要明确极为特殊的测量条件或者说在实际应用中不可能实现获得有意义的测量结果。
为帮助双束扫描电镜聚焦离子束用户更好地理解飞行时间二次离子质谱 (ToF-SIMS)技术, 展示与双束镓-聚焦离子束 (Ga-FIB) 集成的ToF-SIMS在材料科学中的应用,国内外著名聚焦离子束-飞行时间二次离子质谱联用技术专家焦成革博士为大家带来了一场精彩的网络直播。
主讲人
焦成革 (Chengge Jiao) 博士
赛默飞世尔科技 应用开发资深科学家
二次离子质谱 (Secondary Ion Mass Spectrometry,SIMS) 是一种材料表面化学分析技术,它依赖于收集和分离从材料表面产生的二次离子, 根据检测到的离子的质荷比 (m/z)而给出材料表面成分信息。飞行时间二次离子质谱(ToF-SIMS)是质谱分析的其中一种方法或者是其中一种类型的质谱分析仪。
直播亮点
a、基于双束扫描电镜聚焦离子束的飞行时间二次离子质谱原理介绍
*图1. 飞行时间二次离子质谱原理示意图
b、基于双束扫描电镜聚焦离子束的飞行时间二次离子质谱应用介绍举例
*图2. 电池材料中Li元素的定性及面分布分析
c、基于双束扫描电镜聚焦离子束的飞行时间二次离子质谱影响因素,如:入射离子源,溅射面积,元素离子化,矩阵效应等进行深入分析
*图3. 入射离子源对元素二次离子产额的影响;
A)氧离子;B)铯离子