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打造满足先进工业需求的直线电机

雷尼绍Renishaw
2022.7.11

众所周知,直线电机广泛应用于各大工业领域,包括平板显示器 (FPD)、半导体、自动化、医疗诊断、3D打印和机床等。恒速控制对于这些先进的工业过程来说至关重。

KOVERY公司是业内领先的高精度直线电机系统供应商,其一系列先进的直线电机集成了雷尼绍光栅,采用自有的专利技术,契合地满足了先进工业的需求。

挑战

减小齿槽力,保持推力

大部分直线电机属于“平板式直线电机”,其特点是永磁磁轨布置在一系列电磁线圈(动子)的下方。半导体和FPD制造等领域的运动控制应用要求严苛,必须精确控制动子的运动。

恒速控制对于许多先进的工业过程来说至关重要,但传统的电机设计会产生齿槽力,导致电机速度出现纹波。

设计人员还可以选择使用无槽(无铁芯)平板式电机,这种电机的控制性能优异,但缺点是推力输出会大幅降低。

解决方案

“独特”的设计,高品质的光栅

KOVERY研发了一个采用“独特”设计的电机系列,能够在减小齿槽力的同时又不会牺牲推力。

KOVERY独创研发的直线电机首次将永磁体以直立形式排列,这样永磁体能够在动子线圈的磁极片间穿过。此电机使用雷尼绍QUANTiC™系列增量式光栅实现换向和位置控制。同时还使用了雷尼绍的其他测量产品,包括EVOLUTE™绝对式光栅,以及用于机器校准的XL-80激光干涉仪。

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