上海昊量光电设备有限公司自2023年1月1日正式成为Microlight3D公司SMART PRINT UV系列DMD无掩模光刻系统的中国区独家代理商，此次获得Microlight3D的授权，体现了Microlight3D对上海昊量光电设备有限公司市场销售的专业度及售后技术支持力量的高度认可。我们将一如既往地为国内广大用户提供更为优质的服务。
Microlight3D成立于2016年，在格勒诺布尔阿尔卑斯大学(Université Grenoble Alpes，UGA）进行了长达15年的3D微型打印技术研发。格勒诺布尔阿尔卑斯大学创建于1339年，是一所拥有近七百年历史的国立综合研究型大学，是欧洲最古老的大学之一，教学科研实力处于法国顶尖、世界一流水平。作为具有世界影响力的法国公立大学，格勒诺布尔-阿尔卑斯大学先后诞生过3位诺贝尔奖获得者（克劳斯·冯·克利青、路易·奈尔、热拉尔·穆鲁），1位图灵奖获得者（约瑟夫·斯发基斯）。Microlight3D公司一直在快速发展，得益于Smart Print UV System在世界各地的实验室和公立私立研究中心的大量销售。
Microlight3D公司推出的DMD无掩模光刻系统Smart Print UV系列是一种基于DMD投影技术的无掩模光刻设备，可兼容多种抗蚀剂和基材。Smart Print UV可以在微米分辨率下产生任何2D形状，而不需要硬掩模。
Smart PrintUV·系统特点
♦ 最小特征尺寸1.5um
♦ 可更换目标的可调节写入区域和分辨率
♦ 兼容CAD文件及bitmap文件
♦ 兼容SU-8、g线、h 线、i 线、AZ系列等绝大部分光刻胶
♦ 兼容多种基材（硅、玻璃、柔性薄膜、金属、塑料等）
♦ 兼容多种样品尺寸：2''''和4''''晶圆、4''''和5''''方形或者定制更大尺寸、显微镜矩形载玻片、14mm和25mm圆形载玻片
♦ 反馈相机：聚焦，对齐，准直
♦ 手动旋转台：360°可旋转，精度 0.1°
♦ 桌面型，占地空间小
♦ 曝光速度相比同类型产品更快！
♦ 极具性价比！
♦ 软件操作和设备维护简单！
♦ 交货周期短！
♦ 可免费打样！
Smart PrintUV·功能选件
♦ 1X Objective 磁吸快速更换镜头
10.6 mm x 5.9 mm FOV and 15 µm resolution
♦ 5X Objective 磁吸快速更换镜头
2.1 mm x 1.2 mm FOV and 3 µm resolution
♦ 10X Objective 磁吸快速更换镜头
1.06 mm x 0.59 mm FOV and 1.5 resolution
♦ 4" 晶圆样品支架
♦ 玻璃载玻片样品支架
♦ 多用途大型样品支架
兼容4" & 5" 方形基板, 2" & 4" 晶圆, 显微镜载玻片, 14 mm & 25 mm 圆形载玻片
♦ 定制化样品支架
根据客户要求，可适应更大样品尺寸或多个样品；兼容柔性膜材基底（New!）
♦ 保修期延期
设备保修期2年，软件免费升级2年
Smart PrintUV·核心规格
型号SP-UV.StandardSP-UV.Advanced光源曝光波长：385nm；校准波长：590nm最小特征尺寸1.5um对准准度（1cm²区域）2um1um拼接精度2um＜1um最大曝光范围70×70mm²110×110mm²基板尺寸4英寸(wafer)5英寸（方形）写入速度77mm²/min220mm²/min系统尺寸长×宽×高：52(cm)×52(cm)×69(cm)
软件包
电脑Windows 10Pro, 24inch屏幕SFTprint软件机器控制、步进重复、自动剂量测试、拼接、对齐SFT转换器将标准CAD格式（gdsii、dxf、cif、oas）转换为机器格式；包含CAD软件
镜头选项
物镜1X2.5X5X10X写入区域（mm）10.56×5.944.2×2.42.1×1.21.06×0.59最小线宽（um）15631.5Smart PrintUV·应用领域
Smart Print UV是为需要制作表面微图案、微结构的任何应用领域的完美设计，如MEMS，微流体，二维材料，自旋电子学，生物技术和微电子等。
Microlight3D公司还有另外一款明星产品-双光子聚合3D纳米光刻机。
2007年，第一代双光子聚合3D纳米光刻机microFAB-3D问世，在中国大陆、台湾和欧洲地区有大量的销售。
2018年，公司获得了法国研究与创新部颁发的公共研究领域最具创新力年轻公司奖。
2019年，推出了第一代紧凑型桌面式双光子聚合3D纳米光刻机。
2019年，Microlight3D完全收购了无掩模光刻系统制造商SmartForceTechnologies。
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DMD无掩模光刻机｜数据单，论文文献
双光子聚合激光直写3D纳米光刻机｜数据单，论文文献
未来，上海昊量光电设备有限公司将获得Microlight3D更多的资源支持，昊量光电也将继续秉承互利共赢的发展理念，充分发挥自身强大的专业技术沟通和服务优势，力争为国内MEMS，微流体，二维材料，自旋电子学，生物技术和微电子等应用领域的研究和推广贡献一份力量，满足并不断超越客户的期望，致力于为国内前沿的科研与工业领域提供优质的产品与服务，助力中国智造与中国创造。对产品感兴趣的朋友也欢迎直接添加产品负责人微信咨询。
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