SEMICON CHINA 2023
跨界全球·心芯相联
时间:2023年6月29日-7月1日
地点:上海新国际博览中心
中科科仪展位:E7馆 E7146
半导体产业是一个关键战略性产业,对于整个人类文明进步,国家科技乃至大国国力的体现都有着巨大的影响。SEMICON CHINA 2023是由中国电子商会和SEMI主办的全球规模最大、最具影响力的半导体盛会,本届展会展览面积达90000平米,将有1100余家展商参展,覆盖芯片设计、制造、封测、设备、材料、光伏、显示等全产业链。SEMICON China见证了中国半导体制造业茁壮成长,加速发展的历史,也必将为中国半导体制造业未来的强盛壮大作出贡献。
本届展会中科科仪将带来
新品磁悬浮分子泵及蝶阀
展示半导体检测设备及核心零部件
国产化解决方案
诚邀您莅临E7146展位参观交流
半导体检测设备及核心零部件
国产化解决方案
高性能肖特基场发射电子枪,亮度高、单色性好、束斑小、寿命长;
具备卓越的低加速电压成像性能;
超大样品腔室,更多扩展接口,满足多探测器、多功能联用、多嵌入原位测试,束流稳定,满足长时间工作需求;
非导体试样或电子束敏感试样可不喷涂导电膜直接观测。
配置灵活,可选择分体式或一体式安装;
大抽速、耐腐蚀、防沉积;
高洁净、免维护、低振动;
自动保护、防冲击、远程故障诊断;
满足定制化需求。
DN100小口径五轴全磁悬浮分子泵,填补国内空白;
性能优异,小分子气体抽气效率高;
高洁净、免维护、低振动;
优越的抗气体冲击能力;
满足定制化需求。
最小可检漏率达5X10-13Pa.m3/s,检漏范围覆盖12个量级;
最大检漏压强2,500Pa,最高可耐10,000Pa;
对氦气抽速可达2.5L/s,清氦能力强劲,可快速进入工作状态;
配置两根独立的氧化钇灯丝,使用寿命长;
智能控制器——多功能触摸屏、支持手持操作;
通讯接口丰富、内置SD存储卡。
适用真空度范围:1×105Pa ~ 10-6Pa;
漏率:≤1.3×10-10Pa.m3/s;
智能调压,控制简便;
质量稳定,性能优异;
一体设计,高度集成。
2023年6月29日-7月1日
上海新国际博览中心
期待与您相约SEMICON CHINA
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