邀请丨基于双束电镜的飞行时间二次离子质谱TOF-SIMS在材料科学领域的应用专题讲座及现场演示

现今是我国材料迅猛发展的黄金时代，包括动力电池，微电子，钢铁合金，行星地质等学科或行业对材料的表征，尤其是微区化学元素分析方面的要求也越来越高。以往在双束电镜系统中的扫描电镜结合附带的X射线能量色散谱仪（SEM-EDX）进行材料样品的微区化学元素分析已经无法满足材料科学中的表征应用要求。比如在动力电池行业，扫描电镜X射线能谱技术无法检测材料中的氢(H)元素，对于锂(Li)元素的检测需要明确极为特殊的测量条件或者说在实际应用中不可能实现获得有意义的测量结果。

本期讲座目的是帮助双束扫描电镜聚焦离子束用户更好的理解飞行时间二次离子质谱 （ToF-SIMS）技术， 展示与双束镓-聚焦离子束 (Ga-FIB) 集成的ToF-SIMS在材料科学中的应用。并诚邀国内外著名聚焦离子束-飞行时间二次离子质谱联用 技术专家为大家带来精彩报告。同时，讲座会介绍Helios 5双束系统新增的自动化功能，如InColumn Crossover（ICC）；Focus Lens Align and Stigmate（FLASH）；automatically I-Beam alignment等。

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日程安排

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时间：2021年12月17日

地点：上海浦东新区金科路2517号中国芯科技园A座赛默飞客户体验中心一楼

■ 授课内容

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讲座专家

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焦成革 (Chengge Jiao)博士

是赛默飞世尔科技在荷兰埃因霍温（Eindhoven）的资深科学家， 主要从事聚焦离子束的应用开发研究。在20年前，他以聚焦离子束（FIB）应用工程师的身份加入Philips-FEI公司。在加入公司以前，焦博士在英国布里斯托大学物理学院从事冷场发射透射电镜对GaN材料的电子全息相关的研究工作。他在电子显微镜和材料科学方面都拥有丰富的经验。他目前的工作是将多离子源（Xenon, Argon, Oxygen, Nitrogen）等离子发射聚焦离子束（MIS-PFIB）和FIB-SIMS应用于材料科学。 他在英国伯明翰大学获得材料科学博士学位，期间他利用TEM研究MoSi2金属间化合物的位错显微结构。他撰写发表过50多篇包括在Physical Review Letters (PRL),  Nature Materials,  Acta Materialia期刊发表的学术论文。

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会议内容

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Helios 5双束系统新增的自动化功能介绍，如InColumn Crossover（ICC）可以在我们使用交换仓或者大仓放样品的过程中进行电子束镜筒内自动对中，节省大量的电子束校准时间；Focus Lens Align and Stigmate（FLASH）可以对样品进行自动对中，聚焦和消像散，大大节省测试时间；automatically I-Beam alignment全自动离子束对中，可以使用非工作时间对离子束进行全自动校准，不占用仪器工作时间，无需看守。

二次离子质谱 (Secondary Ion Mass Spectrometry，SIMS) 是一种材料表面化学分析技术，它依赖于收集和分离从材料表面产生的二次离子， 根据检测到的离子的质荷比 (m/z)而给出材料表面成分信息。飞行时间二次离子质谱（ToF-SIMS)是质谱分析的其中一种方法或者是其中一种类型的质谱分析仪。固体表面激发的二次离子是双束聚焦离子束轰击样品所产生的信号之一。基于双束扫描电镜聚焦离子束(DualBeam SEM-FIB)的二次离子质谱和专用的二次离子质谱仪器的主要区别之一是分析离子束(primary ion beam or analytical beam）的离子类型和离子源的种类。同时，和专用的二次离子质谱仪器系统相比，质谱仪需要以紧凑型的方式集成于双束电子显微镜系统于一体，在保证双束扫描电镜聚焦离子束显微镜的所有应用不受影响的前提下，来获得以离子束为分析束的材料表面化学信息。镓-聚焦离子束 (Ga-FIB) 可以提供比任何专用二次离子质谱更好的二次离子质谱图像横向分辨率。

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参会方式

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现场参会，扫码报名

（人数上限25人，先报先得）

观看直播，请扫码登记预约

希望通过这个讲座能够为将要在的或者是在已有的双束扫描电镜聚焦离子束系统上添加ToF-SIMS提供技术和应用解答。并现场操作演示动力电池样品的正，负离子的数据收集及分析，旨在让客户深入了解赛默飞镓-聚焦离子束-飞行时间二次离子质谱联用 (Ga-FIB-SIMS)的仪器性能，操作特点，应用开发。期望可以进一步发挥其在科学研究，工业应用中的作用，解决材料科学中元素微区表征难题。