Filmetrics 膜厚测量仪
产地：美国原装进口
型号：F50
自动化薄膜厚度绘图系统
01
仪器介绍与应用
依靠F50先进的光谱测量系统，可以非常简单快速地获得最大直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台，可以非常快速地定位所需测试的点并且实时获得测试厚度，大约每秒能测试两点。F50系统配置高精度长寿命的移动平台，确保实现上百万次的测量。
多点位，图形化，自动化
半导体制造
光刻胶
氧化物/氮化物/SOI
晶圆背面研磨
LCD液晶显示器
聚酰亚胺
ITO透明导电膜
光学镀层
MEMS微机电系统
盒厚
光刻胶
抗反射层
硅系膜层
典型用户
北京大学
上海交通大学
复旦大学
中科院
02
仪器特点
测量效率高：
仅需花费几分钟完成安装，通过USB连接电脑，设备就可以在数秒内得到测量结果
系统中预设了许多极坐标形、矩形和线性的图形模式，且支持用户自定义测量点位图。只需掌握基本的电脑技巧便可在几分钟内建立自己需要的测量点位图。
测量范围广:
基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系数的薄膜都可以测量。
自动化图案绘制：
用户能随心所欲的绘制所需的图案，操作功能方便省时。
2D和3D的测绘：
不论是反射率，厚度还是折射率的测量，都可以用2D或3D呈现。测绘结果能依不同的需要做调整，参数设定简单容易。测绘图能从不同的角度检视。
其他：
嵌入式在线诊断方式
免费离线分析软件
精细的历史数据功能,帮助用户有效地存储，重现与绘制测试结果
03
应用案例
SiC半导体中膜厚测量解决方案
LCD液晶显示屏测量与应用
Parylene涂层厚度测量实际应用案例
04
样品测量,咨询报价
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