产品名称：椭圆偏振光谱仪
产地：法国
型号：UVISEL PLUS
典型用户：NASA 戈达德太空飞行中心
01
仪器用途及应用范围：
UVISEL 是20 多年技术积累和发展的结晶，即使在透明的基底上也能对超薄膜进行最精确的测量。作为一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型，它采用了PEM 相位调制技术，与机械旋转部件技术相比， 能提供更好的稳定性和信噪比。
先进功能材料
薄膜厚度、光学常数表征
材料/ 表面改性研究
粗糙度、孔隙率表征
渐变层、界面层等分析
穿过率、反射率曲线测量
汽车
薄膜厚度、光学常数表征
表面粗糙度、孔隙率表征
渐变层、界面层分析
透射率、反射率测量
涂层及镀层分析
半导体材料
硅片上SiO2 薄膜厚度监控
光刻胶n，k（190-2100nm）
SiN，SiO2 等膜厚测试
第三代半导体外延薄膜厚度
能源/光伏
薄膜厚度、光学常数表征
工艺对镀膜的影响分析
渐变层、界面层等分析
膜层不均匀性成像分析
在线监测
02
产品特点：
50 KHz 高频PEM 相调制技术，测量光路中无运动部件
具备超薄膜所需的测量精度、超厚膜所需的高光谱分辨率
多个实用微光斑尺寸选项
可用于在线实时监测
自动平台样品扫描成像、变温台、电化学反应池、液体池、密封池等
配置灵活，测量范围可扩展至190 nm~2100 nm
03
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04
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